全新WZ-X系列PCD微钻产品,为客户带来高效、稳定、可靠的微孔加工效果

2023-10-25 14:40:42 北京沃尔德金刚石工具股份有限公司 浏览次数 1947

碳化硅喷淋盘是一种高性能、高耐温、高硬度和高强度的材料,具有良好的耐腐蚀性和热导性,是半导体晶圆刻蚀机中核心部件之一。

碳化硅喷淋盘因为碳化硅材质的硬度高,属于高硬脆性材料。加工孔径小,且深倍孔径(高达10+),其钻削加工难度极高。加工过程中容易产生崩缺,刀具寿命短,刀具易断入孔内的情况。业内高度依赖进口刀具。

为打破这一垄断格局,实现同类产品的高端刀具国产化,沃尔德推出全新WZ-X系列PCD微钻产品。刀具采用特殊结构设计,对比通用标准的PCD结构,可为客户带来更加高效、稳定、可靠的微孔加工效果。